2001-10-21 至 2001-10-30
共 2 位
| 系統識別號 | C09005539 |
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| 主題分類 | 科學技術 |
| 施政分類 | 國家發展及科技 |
| 計畫名稱 | 執行經濟部科專機械業關鍵系統技術研發派員赴美等國研討半導體製程設備與磁性流體軸封相關技術 |
| 報告名稱 | 執行經濟部科專機械業關鍵系統技術研發派員赴美等國研討半導體製程設備與磁性流體軸封相關技術 |
| 電子全文檔 | |
| 報告日期 | 2001-12-14 |
| 報告書頁數 | 30 |
| 出國期間 | 2001-10-21 至 2001-10-30 |
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| 前往地區 |
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| 參訪機關 | |
| 出國類別 | 考察 |
| 關鍵詞 | 半導體製程設備,機械手臂,磁性流體軸封 |
| 計畫主辦機關 | 國防部中山科學研究院 | |||||||||||||||
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| 出國人員 |
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| 此次公差係為執行本(二)所經濟部委託之科技專案「機械業關鍵系統技術研發計畫」半導體製程設備真空機械手臂及磁性流體軸封研發,派員赴美國參加SPIE協會在舊金山舉辦的MicromachiningMicrofabrication研討會並參訪美、日半導體製程設備及磁性流體軸封主要廠家。公差報告內容敘述主要研討會發表論文之內容,提出詳細說明。所蒐集之各項資料,對現行研製產品之精進,及未來發展皆具參考應用價值。此次公差經由技術研討,與國外專家交流資訊,了解先進半導體製程技術、奈米加工製程技術相關最新發展資訊。藉由參訪專業廠家,了解先進磁性流體軸封設計製造考量之要點,奠定技術知識,提昇磁性流體軸封設計、製造及測試能力。 |
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